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MEMS流量芯片技術概述
雙擊自動滾屏發布時間:2009/6/16 10:25:59 閱讀:910

MEMS質量流量傳感器芯片,能根據用戶的需求提供精確的在線流量計量。傳感器芯片采用本公司獨特的MEMS工藝制造,具有極高的可靠性。傳感器可測量低至0. 01m/s及高達65m/s的氣體流速。專門設計的電路具有微小信號處理功能以保證高精度輸出。

MEMS質量流量傳感器的基本測量原理是通過氣體流動產生的溫度場變化來確定氣體流速。當無氣體流動時,傳感器周圍保持穩定的溫度場分布。當氣體流動時,溫度場因為氣體帶走熱量導致局部溫度分布變化,這種局部溫度場變化取決于氣體介質的質量及流速,集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量,通過校準,專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可得到所需的流量數據。由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響,因而,所測量的為質量流量質量流量可根據需要換算成體積流量及累計體積流量。不同于傳統的熱式流量計采用單一熱傳感器及熱源來量測熱損耗并由此測量氣體的質量流量,流量芯片是采用了多個傳感器進一步減少了環境對測量的影響。傳感器體積微小,對流場的壓力分布無影響,從而完全無需壓力補償。

MEMS質量流量傳感器是用大規模集成電路的生產方式制成的,它具有高度的一致性和可靠性,從而在產品的校準和生產成本上具有極大的優勢。同時功耗也遠低于現有的熱式傳感器,并具有較短的動態響應時間。在使用上更為準確,同時為更大規模的應用創造了條件。傳感器芯片表面采用具有高導熱性能的陶瓷材料鈍化處理,在保證靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質直接接觸以提高其可靠性。傳感器的另一個不同于傳統的熱式傳感器的特點是,由于其熱源十分微小,采用插入式在相對大的流場中,在無氣體流動時,傳感器的熱源對環境無影響,不會象傳統的熱式傳感器一樣造成氣體的對流。因而,具有優良的零點穩定性。傳感器可采用多種形式的封裝,增加了其應用的廣泛性。

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